Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Fabrication d'Oscillateurs Haute Fréquence (GHz) à base de Résonateurs SAW sur Substrat en Carbone Diamant
Auteur(s) :
Salut, Roland [Auteur correspondant]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Assouar, Badreddine [Auteur]
Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications [LPMIA]
Elmazria, Omar [Auteur]
Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications [LPMIA]
Benedic, Fabien [Auteur]
Laboratoire d'Ingénierie des Matériaux et des Hautes Pressions [LIMHP]
Gesset, Celine [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Saada, Samuel [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Bergonzo, Philippe [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Omnès, Franck [Auteur]
Semi-conducteurs à large bande interdite [NEEL - SC2G]
Edon, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ballandras, Sylvain [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Assouar, Badreddine [Auteur]
Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications [LPMIA]
Elmazria, Omar [Auteur]
Laboratoire de physique des milieux ionisés et applications [LPMIA]
Benedic, Fabien [Auteur]
Laboratoire d'Ingénierie des Matériaux et des Hautes Pressions [LIMHP]
Gesset, Celine [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Saada, Samuel [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Bergonzo, Philippe [Auteur]
Laboratoire Capteurs Diamant (CEA, LIST) [LCD (CEA, LIST)]
Omnès, Franck [Auteur]
Semi-conducteurs à large bande interdite [NEEL - SC2G]
Edon, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ballandras, Sylvain [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Éditeur(s) ou directeur(s) scientifique(s) :
Société Française d'Acoustique - SFA
Titre de la manifestation scientifique :
10ème Congrès Français d'Acoustique
Ville :
Lyon
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2010-04-12
Date de publication :
2010
Mot(s)-clé(s) :
Lithographie électronique
Diamant
oscillateurs RF
fabrication
résonateurs
Guide d'onde
Diamant
oscillateurs RF
fabrication
résonateurs
Guide d'onde
Mot(s)-clé(s) en anglais :
nanodiamond
diamond
SAW (Surface Acoustique Waves)
thin film
Chemical Vapor Deposition (CVD)
resonator
wave guide
oscillator
electronic lithography
diamond
SAW (Surface Acoustique Waves)
thin film
Chemical Vapor Deposition (CVD)
resonator
wave guide
oscillator
electronic lithography
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
Résumé :
De nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de substrats en Carbone Diamant pour la fabrication de dispositifs radiofréquences fonctionnant à très haute fréquence (GHz), et basés sur la ...
Lire la suite >De nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de substrats en Carbone Diamant pour la fabrication de dispositifs radiofréquences fonctionnant à très haute fréquence (GHz), et basés sur la technologie SAW (Surface Acoustique Waves). L'intérêt principal de ce matériau réside dans sa très grande vitesse de phase (de l'ordre de 10km.s-1). Nous présenterons le travail issu de la collaboration entre différents groupes de recherche dont le but est d'identifier précisément les capacités de tels substrats pour la fabrication d'oscillateurs RF stabilisés, dans la gamme 5GHz - 10GHz. Le choix de la meilleure configuration a déjà été étudié lors de travaux précédents(1). Elle se compose d'un multicouche : substrat / Carbone diamant (5µm) / couche piézoélectrique (ZnO). Les dispositifs SAW proprement dit sont fabriqués par lithographie électronique. Nous montrerons nos derniers travaux concernant l'optimisation des caractéristiques de la couche piézoélectrique qui nous ont permis d'atteindre des produits QF (facteurs de qualité x fréquence) supérieurs à 10^12 pour des résonateurs doubles ports. Les oscillateurs à contre-réaction ainsi fabriqués seront caractérisés (bruit de phase) et les résultats seront comparés avec la théorie. (1) R. Salut et al, Fabrication of GHz range oscillators stabilized by nano-carbon-diamond-based surface acoustic resonators, Proc. of the IEEE IUS, Rome, 2009Lire moins >
Lire la suite >De nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de substrats en Carbone Diamant pour la fabrication de dispositifs radiofréquences fonctionnant à très haute fréquence (GHz), et basés sur la technologie SAW (Surface Acoustique Waves). L'intérêt principal de ce matériau réside dans sa très grande vitesse de phase (de l'ordre de 10km.s-1). Nous présenterons le travail issu de la collaboration entre différents groupes de recherche dont le but est d'identifier précisément les capacités de tels substrats pour la fabrication d'oscillateurs RF stabilisés, dans la gamme 5GHz - 10GHz. Le choix de la meilleure configuration a déjà été étudié lors de travaux précédents(1). Elle se compose d'un multicouche : substrat / Carbone diamant (5µm) / couche piézoélectrique (ZnO). Les dispositifs SAW proprement dit sont fabriqués par lithographie électronique. Nous montrerons nos derniers travaux concernant l'optimisation des caractéristiques de la couche piézoélectrique qui nous ont permis d'atteindre des produits QF (facteurs de qualité x fréquence) supérieurs à 10^12 pour des résonateurs doubles ports. Les oscillateurs à contre-réaction ainsi fabriqués seront caractérisés (bruit de phase) et les résultats seront comparés avec la théorie. (1) R. Salut et al, Fabrication of GHz range oscillators stabilized by nano-carbon-diamond-based surface acoustic resonators, Proc. of the IEEE IUS, Rome, 2009Lire moins >
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Nationale
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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