Further studies on the lithium phosphorus ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Further studies on the lithium phosphorus oxynitride solid electrolyte
Author(s) :
Pichonat, T. [Auteur]
Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lethien, Christophe [Auteur correspondant]
Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tiercelin, Nicolas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Godey, Sylvie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pichonat, Emmanuelle [Auteur]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Colmont, Marie [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Rolland, P.A. [Auteur]
Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lethien, Christophe [Auteur correspondant]

Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tiercelin, Nicolas [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Godey, Sylvie [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pichonat, Emmanuelle [Auteur]

Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Roussel, Pascal [Auteur]

Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Colmont, Marie [Auteur]

Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Rolland, P.A. [Auteur]
Institut de Recherche sur les Composants logiciels et matériels pour l'Information et la Communication Avancée - UAR 3380 [IRCICA]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Materials Chemistry and Physics
Pages :
231 - 235
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2010
ISSN :
0254-0584
English keyword(s) :
Lithium-ion (Li-ion) microbattery
Solid electrolyte
LiPON
Integration
Raman spectroscopy
Solid electrolyte
LiPON
Integration
Raman spectroscopy
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
English abstract : [en]
First step in the way to the fabrication of an all-solid microbattery for autonomous wireless sensor node, amorphous thin solid films of lithium phosphorus oxynitride (LiPON) were prepared by radio-frequency sputtering of ...
Show more >First step in the way to the fabrication of an all-solid microbattery for autonomous wireless sensor node, amorphous thin solid films of lithium phosphorus oxynitride (LiPON) were prepared by radio-frequency sputtering of a mixture target of P<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/Li<sub>2</sub>O in ambient nitrogen atmosphere. The morphology, composition, and ionic conductivity were characterized by scanning electron microscopy, energy dispersive X-ray spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, and A.C. impedance spectroscopy. With a thickness of 1.4 μm, the obtained LiPON amorphous layer provided an ionic conductivity close to 6 × 10<sup>−7</sup> S cm<sup>−1</sup> at room temperature. MicroRaman UV spectroscopy study was successfully carried out for the first time on LiPON thin films to complete the characterization and bring further information on LiPON structure.Show less >
Show more >First step in the way to the fabrication of an all-solid microbattery for autonomous wireless sensor node, amorphous thin solid films of lithium phosphorus oxynitride (LiPON) were prepared by radio-frequency sputtering of a mixture target of P<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/Li<sub>2</sub>O in ambient nitrogen atmosphere. The morphology, composition, and ionic conductivity were characterized by scanning electron microscopy, energy dispersive X-ray spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, and A.C. impedance spectroscopy. With a thickness of 1.4 μm, the obtained LiPON amorphous layer provided an ionic conductivity close to 6 × 10<sup>−7</sup> S cm<sup>−1</sup> at room temperature. MicroRaman UV spectroscopy study was successfully carried out for the first time on LiPON thin films to complete the characterization and bring further information on LiPON structure.Show less >
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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