AlN on nanocrystalline diamond piezoelectric ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
AlN on nanocrystalline diamond piezoelectric cantilevers for sensors/actuators
Auteur(s) :
Mortet, V. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Pobedinskas, P. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Wagner, P. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Pobedinskas, P. [Auteur]
Haenen, K. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Wagner, P. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Eurosensors XXIII
Ville :
Lausanne
Pays :
Suisse
Date de début de la manifestation scientifique :
2009-09-06
Titre de la revue :
Procedia Chemistry
Éditeur :
_
Date de publication :
2009
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Nanocrystalline diamand NCD
Piezoelectric AlN
MEMS resonators
Piezoelectric AlN
MEMS resonators
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
Micro-cantilevers can be used as both sensors and actuators. In this work, the design, fabrication and characterization of piezoelectrically driven nano-crystalline diamond (NCD) cantilevers are reported Diamond films were ...
Lire la suite >Micro-cantilevers can be used as both sensors and actuators. In this work, the design, fabrication and characterization of piezoelectrically driven nano-crystalline diamond (NCD) cantilevers are reported Diamond films were grown on silicon (100) substrates by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW-PECVD). Cantilevers are coated by DC pulsed piezoelectric with AlN films that is sandwiched between two metallic electrodes. The thicknesses of AlN and diamond layers are 1μm and 700nm, respectively. The influence on the electromechanical response of cantilevers length was studied. The motion of the electrically driven cantilevers is performed by measuring the evolution of the electrical impedance at the resonant frequencies that varies between 10 kHz and 130 kHz for the resonant mode.Lire moins >
Lire la suite >Micro-cantilevers can be used as both sensors and actuators. In this work, the design, fabrication and characterization of piezoelectrically driven nano-crystalline diamond (NCD) cantilevers are reported Diamond films were grown on silicon (100) substrates by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW-PECVD). Cantilevers are coated by DC pulsed piezoelectric with AlN films that is sandwiched between two metallic electrodes. The thicknesses of AlN and diamond layers are 1μm and 700nm, respectively. The influence on the electromechanical response of cantilevers length was studied. The motion of the electrically driven cantilevers is performed by measuring the evolution of the electrical impedance at the resonant frequencies that varies between 10 kHz and 130 kHz for the resonant mode.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00474464/document
- Accès libre
- Accéder au document
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00474464/document
- Accès libre
- Accéder au document
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- https://doi.org/10.1016/j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document
- document
- Accès libre
- Accéder au document
- 1-s2.0-S1876619609000114-main.pdf
- Accès libre
- Accéder au document
- j.proche.2009.07.010
- Accès libre
- Accéder au document