Low actuation voltage SPDT RF MEMS K band ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Low actuation voltage SPDT RF MEMS K band switch using a single gold membrane
Author(s) :
Robin, R. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Millet, O. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Country :
Italie
Start date of the conference :
2009
Book title :
Proceedings of the 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Publisher :
_
Publication date :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :