Title :

Filtre nano-électromécanique

Author(s) :

Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]

Publication date :

2002-01-04

Patent number :

FR2811163 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20000008490 20000630 ; également publié en tant que : FR2811163 (B1) 2002-10-04 ; WO0201717 (A1) 2002-01-03 ; CA2414354 (A1) 2002-01-03 ; AU7071001 (A) 2002-01-08 ; EP1295389 (A1) 2003-03-26 ; US2003186672 (A1) 2003-10-02 ; US6947719 (B2) 2005-09-20 ; JP2004502374 (A) 2004-01-22 ; AT377291 (T) 2007-11-15 ; EP1295389 (B1) 2007-10-31 ; DE60131166 (T2) 2008-09-25 ; CA2414354 (C) 2009-09-29 ; JP4794805 (B2) 2011-10-19

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL