Title :

Support pour résonateur acoustique, résonateur acoustique et circuit intégré correspondant

Author(s) :

Bouche, G. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]

Publication date :

2004-06-04

Patent number :

FR2848036 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20020014967 20021128 ; également publié en tant que : WO2004051848 (A1) 2004-06-17 ; EP1568129 (A1) 2005-08-31 ; FR2848036 (B1) 2005-08-26 ; US2006226736 (A1) 2006-10-12 ; US7391142 (B2) 2008-06-24 ; US2005023931 (A1) 2005-02-03 ; US2007182284 (A1) 2007-08-09 ; US7391143 (B2) 2008-06-24 ; AU2003294093 (A1) 2004-06-23 ; JP2006508598 (A) 2006-03-09 ; EP1568129 (B1) 2006-06-14 ; DE60306196 (T2) 2007-04-19

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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