Tunable bimetallic microresonator formed ...
Type de document :
Brevet
Titre :
Tunable bimetallic microresonator formed on an isolated flexible beam
Auteur(s) :
Bouche, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2004-10-20
Numéro du brevet :
EP1468960 (A2)
Langue :
Anglais
Commentaire :
n° de priorité : FR20030004147 20030403 ; également publié en tant que : EP1468960 (A3) 2005-12-28 ; US2004251781 (A1) 2004-12-16 ; US7038355 (B2) 2006-05-02 ; EP1468960 (B1) 2008-08-06
Source :