Procédé de polarisation d'un micro-circuit ...

Document type :
Brevet
Title :
Procédé de polarisation d'un micro-circuit électromécanique à une valeur de charge électrique constante
Author(s) :
Kaiser, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Galayko, D. [Auteur]
Publication date :
2004-12-03
Patent number :
FR2855681 (A1)
Language :
Français
Comment :
n° de priorité : FR20030006341 20030526 ; également publié en tant que : WO2004107570 (A1) 2004-12-09
Collections :
Source :
Harvested from HAL