Piezoelectrically-controlled microswitch
Document type :
Brevet
Title :
Piezoelectrically-controlled microswitch
Author(s) :
Caruyer, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bouche, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bouche, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Publication date :
2006-01-05
Patent number :
WO2006000731 (A1)
Language :
Anglais
Comment :
n° de priorité : FR20040051171 20040614 ; également publié en tant que : US2008283373 (A1) 2008-11-20 ; US7960900 (B2) 2011-06-14
Source :