Title :

Microcapteurs de flux thermique sur substrat conducteur avec caisson(s) poreux

Author(s) :

Ziouche, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Godts, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Leclercq, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Country :

France

Publication date :

2007-03-28

Patent number :

EP1767913 (A1)

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : EP20050370028 20050922 ; également publié en tant que : WO2007034048 (A1) 2007-03-29 ; EP1767913 (B1) 2011-05-18 ; AT510195 (T) 2011-06-15 ; EP1767913 (B9) 2011-09-28

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL