Title :

MEMS resonator having at least one resonator mode shape

Author(s) :

Sworowski, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Gamand, P. [Auteur]
Philippe, P. [Auteur]

Publication date :

2007-09-13

Patent number :

WO2007102130 (A2)

Language :

Anglais

Comment :

n° de priorité : EP20060110892 20060309 ; également publié en tant que : EP1997225 (A2) 2008-12-03 ; WO2007102130 (A3) 2007-11-15 ; CN101401303 (A) 2009-04-01 ; JP2009529820 (A) 2009-08-20 ; AT441974 (T) 2009-09-15 ; EP1997225 (B1) 2009-09-02 ; US2010156569 (A1) 2010-06-24 ; US7839239 (B2) 2010-11-23 ; CN101401303 (B) 2011-07-13

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL