Title :

Procédé de réalisation d'un composant électromécanique sur un substrat plan

Author(s) :

Casset, F. [Auteur]
Durand, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ancey, P. [Auteur]

Publication date :

2008-03-28

Patent number :

FR2906238 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20060053975 20060927 ; également publié en tant que : FR2906238 (B1) 2008-12-19 ; EP1905734 (A1) 2008-04-02 ; JP2008114363 (A) 2008-05-22 ; US2008076211 (A1) 2008-03-27 ; AT430713 (T) 2009-05-15 ; EP1905734 (B1) 2009-05-06 ; US7625772 (B2) 2009-12-01

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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