Mechanical cross-characterization of ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications
Author(s) :
Fleury, G. [Auteur]
Malhaire, C. [Auteur]
Populaire, C. [Auteur]
Verdier, M. [Auteur]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Charvet, P. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Malhaire, C. [Auteur]
Populaire, C. [Auteur]
Verdier, M. [Auteur]
Devos, Arnaud [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Charvet, P. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 2006 European Material Research Society Spring Meeting
City :
Nice
Country :
France
Start date of the conference :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :