Co-integration of a 1GHz ultrasonic ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Co-integration of a 1GHz ultrasonic transducer in a BioMEMS. Design and optimisation through a new physical approach
Author(s) :
Dubois, Y. [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Proceedings of the 2007 International Congress on Ultrasonics, ICU 2007
City :
Vienna
Country :
Autriche
Start date of the conference :
2007
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL