Tuning beam electromechanical resonators
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Tuning beam electromechanical resonators
Auteur(s) :
Casset, F. [Auteur]
Durand, J.O. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Aid, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, J.O. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Aid, M. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, MEMSWAVE 2007
Ville :
Barcelona
Pays :
Espagne
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :