Transmission electron microscopy study of ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/SiO2/Si structure
Author(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Czerwinski, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Srot, V. [Auteur]
Phillipp, F. [Auteur]
van Aken, P.A. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2008, Symposium I : Front-end junction and contact formation in future Silicon/Germanium based devices
City :
Strasbourg
Country :
France
Start date of the conference :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
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