Comparative analysis for the local ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1080/10584580802096614
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/51005
Title :
Comparative analysis for the local piezoelectric properties of ion beam and reactive ion beam etched Pb(Zr,Ti)O-3 thin films
Author(s) :
Blach-Legrand, C. [Auteur]
Saitzek, S. [Auteur]
Da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, R. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publisher :
Taylor & Francis
Publication date :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T19:49:10Z