Thermo-opto-mechanical properties of AlN ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Thermo-opto-mechanical properties of AlN nanostructures : a promising material for NEMS applications
Author(s) :
Guisbiers, G. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Journal of Physics D: Applied Physics
Pages :
172001-1-4
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2008
ISSN :
0022-3727
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Files
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