Title :

Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/SiO2/Si structure

Author(s) :

Laszcz, A. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Czerwinski, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Srot, V. [Auteur]
Phillipp, F. [Auteur]
van Aken, P.A. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Materials Science and Engineering: B

Pages :

175-178

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2008

ISSN :

0921-5107

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL