ppTMDS as a new polymer technology for a ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1088/0960-1317/18/12/125026
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/51215
Titre :
ppTMDS as a new polymer technology for a high throughput bio-MEMS design
Auteur(s) :
Mille, V. [Auteur]
Bourzgui, N.E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vivien, C. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Bocquet, B. [Auteur]
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2008
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2021-07-27T20:05:14Z
Fichiers
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