Mechanical cross-characterisation of ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications
Auteur(s) :
Fleury, G. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC) [CMP-ENSMSE]
Malhaire, C. [Auteur]
Laboratoire de physique de la matière [LPM]
Institut des Nanotechnologies de Lyon [INL]
Institut National des Sciences Appliquées et de Technologie [Tunis] [INSAT]
Populaire, C. [Auteur]
Laboratoire de physique de la matière [LPM]
Verdier, Mireille [Auteur]
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés [SIMaP]
Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques [LTPCM]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Charvet, J.L. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC) [CMP-ENSMSE]
Malhaire, C. [Auteur]
Laboratoire de physique de la matière [LPM]
Institut des Nanotechnologies de Lyon [INL]
Institut National des Sciences Appliquées et de Technologie [Tunis] [INSAT]
Populaire, C. [Auteur]
Laboratoire de physique de la matière [LPM]
Verdier, Mireille [Auteur]
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés [SIMaP]
Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques [LTPCM]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Charvet, J.L. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Titre de la revue :
Sensors and Actuators B: Chemical
Pagination :
48-51
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2007
ISSN :
0925-4005
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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