Design, fabrication and characterisation ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Design, fabrication and characterisation of high frequency piezoelectric micromachined ultrasonic transducers
Auteur(s) :
Duval, F. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Ekeom, D. [Auteur]
Hladky, Anne-Christine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Ekeom, D. [Auteur]
Hladky, Anne-Christine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
6th Micromachined Ultrasonic Transducers Workshop
Ville :
Antalya
Pays :
Turquie
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :