A New Four States High Deflection Low ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
A New Four States High Deflection Low Actuation Voltage Electrostatic Mems Switch for RF Applications
Auteur(s) :
Robin, Renaud [Auteur]
Touati, Salim [Auteur]
Segueni, Karim [Auteur]
Millet, Olivier [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Touati, Salim [Auteur]
Segueni, Karim [Auteur]
Millet, Olivier [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Ville :
Nice
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2008-04-09
Éditeur :
EDA PUBLISHING Association
Date de publication :
2008-04
Discipline(s) HAL :
Informatique [cs]/Autre [cs.OH]
Résumé en anglais : [en]
This paper presents a new electrostatic MEMS (MicroElectroMechanical System) based on a single high reliability totally free flexible membrane. Using four electrodes, this structure enables four states which allowed large ...
Lire la suite >This paper presents a new electrostatic MEMS (MicroElectroMechanical System) based on a single high reliability totally free flexible membrane. Using four electrodes, this structure enables four states which allowed large deflections (4µm) with low actuation voltage (7,5V). This design presents also a good contact force and improve the restoring force of the structure. As an example of application, a Single Pole Double Throw (SPDT) for 24GHz applications, based on this design, has been simulated.Lire moins >
Lire la suite >This paper presents a new electrostatic MEMS (MicroElectroMechanical System) based on a single high reliability totally free flexible membrane. Using four electrodes, this structure enables four states which allowed large deflections (4µm) with low actuation voltage (7,5V). This design presents also a good contact force and improve the restoring force of the structure. As an example of application, a Single Pole Double Throw (SPDT) for 24GHz applications, based on this design, has been simulated.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)
Source :
Fichiers
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00277678/document
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- http://arxiv.org/pdf/0805.0934
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