Spacer-first damascene-gate FinFET ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Titre :
Spacer-first damascene-gate FinFET architecture featuring stringer-free integration
Auteur(s) :
Cornu-Fruleux, F. [Auteur]
Penaud, J. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Coronel, P. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Penaud, J. [Auteur]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Coronel, P. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Skotnicki, T. [Auteur]
Titre de la revue :
IEEE Electron Device Letters
Pagination :
523-526
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Date de publication :
2007
ISSN :
0741-3106
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :