Title :

Electrical and optical characterizations by prism-coupling method of PZT deposited in-situ by sputtering

Author(s) :

Dogheche, El Hadj [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Velu, G. [Auteur]

Journal title :

Vacuum

Pages :

1-8

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2002

ISSN :

0042-207X

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL