Influence of the step covering on fatigue ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Influence of the step covering on fatigue phenomenon for polycrystalline silicon micro-electro-mechanical-systems (MEMS)
Auteur(s) :
Millet, O. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Japanese Journal of Applied Physics, part 2 : Letters
Pagination :
L1339-L1341
Éditeur :
Japan Society of Applied Physics
Date de publication :
2002
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :