Self-assembling of electrostatic micro-mirrors ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches
Author(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 2nd International Workshop on Microfactories, IWMF 2000
City :
Quebec
Country :
Canada
Start date of the conference :
2000
Publication date :
2000
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :