Self-assembling of electrostatic micro-mirrors ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Self-assembling of electrostatic micro-mirrors by means of integrated micro-actuators and mechanical latches
Auteur(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 2nd International Workshop on Microfactories, IWMF 2000
Ville :
Quebec
Pays :
Canada
Date de début de la manifestation scientifique :
2000
Date de publication :
2000
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL