A physically based modeling of boron TED ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
A physically based modeling of boron TED in amporphised Si
Author(s) :
Lampin, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Senez, V. [Auteur]
Claverie, Alain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Senez, V. [Auteur]
Claverie, Alain [Auteur]
Start date of the conference :
2000
Book title :
Materials Research Society Symposium Proceedings, 610
Publisher :
Materials Research Society, Warrendale, PA, USA
Publication date :
2000
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :