Combined polarizing interferometer and ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Combined polarizing interferometer and optical beam deflection system for MEMS characterization
Auteur(s) :
Jenkins, D.F.L. [Auteur]
Clegg, W.W. [Auteur]
Liu, X. [Auteur]
Tunstall, G. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Liu, B. [Auteur]
Clegg, W.W. [Auteur]
Liu, X. [Auteur]
Tunstall, G. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Liu, B. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 4442
Éditeur :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Date de publication :
2001
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :