Microcapteur de rayonnement infrarouge en ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Microcapteur de rayonnement infrarouge en technologie silicium
Author(s) :
Godts, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ziouche, K. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Leclercq, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Micro Systèmes
Pages :
3
Publication date :
2001
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL