Isolation de transistors dans la filière ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Isolation de transistors dans la filière nitrure de gallium par implantation d'argon
Auteur(s) :
Guhel, Y. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pesant, J.C. [Auteur]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur] refId
Boudart, B. [Auteur]
Dhamelincourt, P. [Auteur]
Poisson, M.A. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
9èmes Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique, JNMO 2002
Ville :
Saint Aigulf
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2002
Date de publication :
2002
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
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