Reliability of polysilicon microstructures ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, L. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Start date of the conference :
2002
Book title :
Microelectronics Reliability, 42
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL