A large stepwise motion electrostatic ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
A large stepwise motion electrostatic actuator for a wireless mircrorobot
Author(s) :
Basset, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]

Bigotte, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Start date of the conference :
2002
Book title :
Proceedings of the Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2002
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :