Reliability of polysilicon microstructures ...

Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Reliability of polysilicon microstructures : in situ test benches
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Journal title :
Microelectronics Reliability
Pages :
1795-1800
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2002
ISSN :
0026-2714
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL