A modified bosch-type process for precise ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
A modified bosch-type process for precise surface micromachining of polysilicon
Author(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Parvais, B. [Auteur]
Raskin, J.P. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Flandre, D. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
328-333
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2002
ISSN :
0960-1317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL