Electrostatic micro actuators

Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Electrostatic micro actuators
Author(s) :
Collard, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Fujita, H. [Auteur]
Toshiyoshi, H. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Journal title :
Nano et micro technologies
Pages :
83-124
Publication date :
2002
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL