Measurement of the elastic and viscoelastic ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Measurement of the elastic and viscoelastic properties of dielectric films used in microelectronics
Author(s) :
Carlotti, G. [Auteur]
Colpani, P. [Auteur]
Piccolo, D. [Auteur]
Santucci, S. [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Socino, G. [Auteur]
Verdini, L. [Auteur]
Journal title :
Thin Solid Films
Pages :
99-104
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2002
ISSN :
0040-6090
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL