Title :

High-frequency high-Q micro-mechanical resonators in thick epipoly technology with post-process gap adjustment

Author(s) :

Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, Andreas [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Start date of the conference :

2002

Book title :

Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2002

Publisher :

IEEE, Piscataway, NJ, USA

Publication date :

2002

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL