Inelastic electron tunnelling spectroscopy ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Inelastic electron tunnelling spectroscopy in n-MOS junctions with ultra-thin gate oxides
Author(s) :
Petit, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Salace, G. [Auteur]
Vuillaume, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Salace, G. [Auteur]
Vuillaume, D. [Auteur]
Conference title :
12th Workshop on Dielectrics in Microelectronics, WoDiM
City :
Grenoble
Country :
France
Start date of the conference :
2002
Publication date :
2002
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :