High quality factors of silicon membranes ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
High quality factors of silicon membranes with piezoelectric actuation and detection scheme for biosensing purpose in liquid media
Auteur(s) :
Ayela, Cédric [Auteur]
Leichle, Thierry [Auteur]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Pugniere, M. [Auteur]
Leichle, Thierry [Auteur]
Bergaud, C. [Auteur]
Nicu, Liviu [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Soyer, Caroline [Auteur]
Pugniere, M. [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 2006 IEEE International Frequency Control Symposium and Exposition
Éditeur :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :