Close infrared thermography using an ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Close infrared thermography using an intensified CCD camera : application in nondestructive high resolution evaluation of electrothermally actuated MEMS
Author(s) :
Serio, B. [Auteur]
Hunsinger, J.J. [Auteur]
Conseil, F. [Auteur]
Derderian, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ravat, M.F. [Auteur]
Hunsinger, J.J. [Auteur]
Conseil, F. [Auteur]
Derderian, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ravat, M.F. [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 5856
Publisher :
SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :