Title :

Close infrared thermography using an intensified CCD camera : application in nondestructive high resolution evaluation of electrothermally actuated MEMS

Author(s) :

Serio, B. [Auteur]
Hunsinger, J.J. [Auteur]
Conseil, F. [Auteur]
Derderian, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ravat, M.F. [Auteur]

Start date of the conference :

2005

Book title :

Proceedings of the SPIE - International Society for Optical Engineering, 5856

Publisher :

SPIE – The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, USA

Publication date :

2005

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL