Fiabilité des microstructures en polysilicium ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Fiabilité des microstructures en polysilicium : création de bancs de test in situ
Auteur(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
16ème Congrès Francais de Mécanique
Ville :
Nice
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2003
Date de publication :
2003
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL