Micro gripper driven by SDAs coupled to ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Micro gripper driven by SDAs coupled to an amplification mechanism
Author(s) :
Millet, O. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernardoni, P. [Auteur]
Regnier, S. [Auteur]
Bidaud, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernardoni, P. [Auteur]
Regnier, S. [Auteur]
Bidaud, P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Start date of the conference :
2003
Book title :
Proceedings of the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS'03
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :