Title :

Transmission electron microscopy of iridium silicide contacts for advanced MOSFET structures with Schottky source and drain

Author(s) :

Laszcz, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
DUBOIS, Emmanuel [Auteur]
Wallart, X. [Auteur]

Conference title :

European Materials Research Society Fall Meeting

City :

Warsaw

Country :

Pologne

Start date of the conference :

2003

Publication date :

2003

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL