Techniques for mechanical strain analysis ...

Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling
Author(s) :
de Wolf, I. [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Balboni, R. [Auteur]
Armigliato, A. [Auteur]
Frabboni, S. [Auteur]
Cedola, A. [Auteur]
Lagomarsino, S. [Auteur]
Journal title :
Microelectronic Engineering
Pages :
425-435
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2003
ISSN :
0167-9317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
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