Techniques for mechanical strain analysis ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Techniques for mechanical strain analysis in submicron structures : TEM/CBED, micro-Raman spectroscopy, X-RAY micro-diffraction and modelling
Auteur(s) :
de Wolf, I. [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Balboni, R. [Auteur]
Armigliato, A. [Auteur]
Frabboni, S. [Auteur]
Cedola, A. [Auteur]
Lagomarsino, S. [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Balboni, R. [Auteur]
Armigliato, A. [Auteur]
Frabboni, S. [Auteur]
Cedola, A. [Auteur]
Lagomarsino, S. [Auteur]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
425-435
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2003
ISSN :
0167-9317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :