Title :

Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction

Author(s) :

Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, A. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]

Journal title :

Journal of Micromechanics and Microengineering

Pages :

134-140

Publisher :

IOP Publishing

Publication date :

2003

ISSN :

0960-1317

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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