Design, realization and testing of ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Design, realization and testing of micro-mechanical resonators in thick-film silicon technology with postprocess electrode to resonator gap reduction
Author(s) :
Galayko, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, A. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kaiser, A. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Combi, C. [Auteur]
Journal title :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pages :
134-140
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2003
ISSN :
0960-1317
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :