Pressure and solvents resistant microsystem ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Pressure and solvents resistant microsystem for monolithic column integration
Author(s) :
Chuda, K. [Auteur]
Coqueret, X. [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur] refId
Druon, C. [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Camart, J.C. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 40th IUPAC International Symposium on Macromolecules - World Polymer Congress MACRO 2004
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2004
Publication date :
2004
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL