Structural and optical characterization ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Structural and optical characterization of InSb-doped Si02 thin films
Author(s) :
CAPOEN, Bruno [Auteur]
Quang, V.L. [Auteur]
Turrell, S. [Auteur]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Beclin, F. [Auteur]
Jestin, Y. [Auteur]
Bouazaoui, M. [Auteur]

Quang, V.L. [Auteur]
Turrell, S. [Auteur]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Beclin, F. [Auteur]
Jestin, Y. [Auteur]
Bouazaoui, M. [Auteur]
Conference title :
5th Symposium on SiO2, Advanced Dielectrics and Related Devices
City :
Chamonix
Country :
France
Start date of the conference :
2004
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :